台湾積体電路製造(TSMC)をはじめ、世界中で存在感を強めている台湾の半導体産業。その躍進を支える一社が、台北市に本社を構える製造装置メーカー、SCIENTECH(辛耘企業)だ。
ウエハー再生も拡大
半導体製造の「後工程」でソリューションを提供しており、ウェットベンチ(ウエハー洗浄、エッチング、ストリッピング)からモイスチャーベーキング(湿気を取り除くために加熱処理する工程)まで、各種装置をラインアップする。TSMCにも納入している。
一方で、使用済みのシリコンウエハーを洗浄、研磨、再調整し、再利用できるようにする「ウエハー再生」なども展開。台湾拠点では月16万枚もの再生能力を持っている。環境配慮に対する機運が世界中で高まる中、「再生能力の拡大も視野に入れています」と、李宏益総経理は語る。